Россия готовит собственный микроскоп для производства микросхем на замену японскому Hitachi — проект оценили в 2,4 миллиарда рублей

Изображение сгенерировано Gemini

Минпромторг выделил 2,4 млрд рублей на разработку отечественного сканирующего электронного микроскопа для измерения критических размеров на полупроводниковых пластинах. Новая установка должна заменить японское оборудование Hitachi, поставки которого в Россию ограничены санкциями, сообщает CNews со ссылкой на портал госзакупок.

Речь идет о создании промышленно-ориентированного CD-SEM-микроскопа для контроля пластин диаметром 100, 150 и 200 мм. Опытный образец планируется выполнить в версии для пластин 200 мм. Установка должна использоваться для неразрушающего измерения ширины линий, размеров контактных отверстий, расстояний между элементами структуры и других критических параметров на кремниевых пластинах.

В техзадании прямо указаны зарубежные ориентиры — Hitachi CD-SEM S-9380 и CG4000. При этом ключевые узлы будущей российской системы — электронная пушка, электронно-оптическая колонна, рабочая камера, вакуумные насосы, механизм загрузки и выгрузки пластин, контроллер и программное обеспечение — должны быть отечественного производства. Иностранные компоненты допускаются только в исключительных случаях и по согласованию с Минпромторгом. Работы должны быть завершены до июня 2030 года.

Источник: https://www.ixbt.com/news/2026/06/03/hitachi-2-4.html